三維形貌測量

客戶需求：

• X-Y-Z軸平臺，搭載鏡頭和傳感器實現表面形貌測量應用。

• Z軸需要搭載2.5kg鏡頭組件，運動要求極高的勻速性。

• 由于光學焦平面需要調整，Z軸必須借助直線驅動調整，修正后精度可以實現±2μm。

我們的方案和使用效果：

• Lxu 80F60系列，配1μm分辨率光柵，Z軸重力補償系統。

• 雙向重復精度1.2μm。